四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。四氟化碳空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,四氟化碳分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。四氟化碳微溶于水,在25℃,101.325kPa时,水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼。